4.1 臭氧机在消毒灭菌前应关闭90%新风进口，余10%维持洁净系统正压，并关闭洁净系统所有对外排放阀门。4.2 开启空调系统送风机电源。4.3 开启臭氧消毒机电源控制柜电源开关，然后开启消毒开关，设定臭氧消毒机消毒灭菌时间，确定为90-240分钟(换品种时消毒确定为240分钟)。4.4 时间控制器使用方法：4.4.1 时段开关选择：按动时间控制器面板上时段开关，显示“S”表示秒，显示“M”表示分，显示“H”表示小时，将时段开关预置在“H”。(若无时间控制器的，则用人工计时。)4.4.2 数字开关选择：按动数字开关，数字选择预置在“2”;设定好后的正常状态为“02H00”，表示设备将运行2h后自动停机或手动停机。4.5 开启机组一、机组二开关，臭氧消毒机工作，2h后到达设定消毒灭菌时间后自动或手动停机。4.6 在消毒灭菌过程中，洁净室内人员应全部撤离，在有人状态下，严禁使用臭氧灭菌。消毒完成1h之后，操作人员才能进入洁净室内工作(质量人员作菌检时也应在消毒完成后1h后进行)。4.7 消毒灭菌完成后，将新风进口，对外排放阀门恢复到原来正常工作状态。4.8 定期检查各电器部份是否受潮，绝缘是否良好，接地是否可靠。4.9 使用一段时间后，小心清除臭氧管阴极上积尘。4.10 当臭氧管使用3000小时应及时更换。4.11一般故障排除：4.11.1 接通电源，指示灯不亮，电压表无指示。检查顺序：总电路是否有电→电源引出线是否断路→有无接线脱落现象→本机电源插头插座接触是否不良→保险丝是否断路→控制系统继电器是否工作→电压表是否损坏。(对查出故障予以纠正)4.11.2 电压表显示不正常。检查顺序：总电源电压是否有异→本机电压表是否有故障(查出故障予以纠正)。4.11.3臭氧管整体不工作。(报告相关部门、由公司与生产厂家联系)。4.12按公司相关规定进行维护、检修。
臭氧机在使用过程中，还是会产生一些不良的影响。如使用臭氧水洗澡或洗脸，对皮肤美白可能确实具有一定效果，但同时也可能对皮肤造成损害。使用臭氧机清洁空气时，人不能同时待在室内，一般要等臭氧机关闭后1小时，人才能进入室内。进入室内后，必须立即打开门窗，注意通风散气。 臭氧机产生的臭氧对消除蔬菜、水果中残留的农药确实有效，但臭氧并不能完全清除蔬果中残存的农药。因为臭氧与农药发生氧化还原后，所除去的果蔬表面的农药用普通的水洗也可除去。在这点上，臭氧机并不比普通水洗方式占优势。
